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制備設備及實驗室

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PLD+RHEED型脈沖激光濺射沉積系統

磁控-電子束蒸發復合系統

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LMBE(RHEED)脈沖激光沉積系統 

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        LMBE-450A型激光分子束外延系統

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PLD-450型脈沖激光沉積系統

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JGP560CC型超高真空三室磁控濺射系統

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LKJ-3D-150離子束刻蝕系統

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SGL-60型高真空熱處理爐

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化學氣相沉積系統

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超凈實驗室

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性能測試設備

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7407型振動樣品磁強計

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U-3310型紫外可見光譜儀

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P-7型臺階儀

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其它共享設備

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AFM/MFM/STM掃描探針顯微鏡

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超導量子干涉儀

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JSM-7500F掃描電子顯微鏡

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JEM-2100透射電子顯微鏡

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綜合物性測試系統

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Ultima IV-185 X射線粉末衍射儀